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浅谈工业电子级超纯水设备



      国家电子级超纯水规格GB/T1146.1-1997,电子级超纯水的技术指标应符合表中的规定:

级别指标

EW-I

EW-II

电阻率MΩ.cm(25℃)

18以上(95%时间)不低于17

15(95%时间)不低于13

硅≤g/l

2

10

>1M微粒数≤个/ml

0.1

5

细菌个数≤个/ml

0.01

0.1

铜≤g/l

0.2

1

锌≤g/l

0.2

1

镍≤g/l

0.1

1

钠≤g/l

0.5

2

钾≤g/l

0.5

2

氯≤g/l

1

1

硝酸根≤g/l

1

1

磷酸根≤g/l

1

1

硫酸根≤g/l

1

1

总有机碳≤g/l

20

100



      工业电子级超纯水设备常用工艺:
 
      ①预处理-反渗透- 水箱-阳床-阴床-混合床-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-精密过滤器-用水对象 

      ②预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 

      ③预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化系统水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象 

      ④预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-精制混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象

       (水质符合美国ASTM标准,电子部超纯水水质标准(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四级)

浅谈工业电子级超纯水设备


      工业电子级超纯水设备应用场合:

电子行业: 微电子 半导体 电子元器件 线路板 电器等
化工行业: 精细化工 日用化工 石油化工 水性涂料 生物化工等
新能源行业: 电池 风电 生物质能源 硅材料 石油工业等
新材料行业: 轻金属材料 陶瓷材料 复合材料 石墨材料 建筑材料等
电力行业: 锅炉软化 机械冷却 火力发电 风力发电 核电等
光电行业: 光电材料 光电显示器 光纤通讯 光伏 照明等
表面处理行业: 涂装 电镀 氧化 电泳 其他工艺等
制造行业: 铝制品 钢材 汽车 航空航天 有色金属等



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